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技术文章
洁净室(区)空气洁净度级别表
洁净室(区)空气洁净度级别表
洁净度级别
尘粒*大允许数/立方米
(静态)
微生物*大允许数
(静态)
换气次数
≥0.5μm
≥5μm
浮游菌/立方米
沉降菌/Ф90皿0.5h
100级
3500
0
5
0.5
附注2
10000级
350000
2000
50
1.5
≥20次/时
100000级
3500000
20000
150
3
≥15次/时
300000级
10500000
60000
200
5
≥10次/时
注:
(1)尘埃粒子数/立方米,要求对≥0.5μm和≥5μm的尘粒均测定,浮游菌/立方米和沉降菌/皿,可任测一种。
(2)100级洁净室(区)0.8米高的工作区的截面*低风速:垂直单向流0.25米/秒;水平单向流0.35米/秒。
(3)洁净室的测定参照JGJ 71-90《洁净室施工及验收规范》执行。 (4)对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计算应进行多次采样。当其多次出现时,方可认为该测试数值是可靠的。
洁净室(区)空气洁净度级别表
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